스케줄러 테스트란? 반도체 장비 속 ‘보이지 않는 뇌’를 검증하는 과정
‘웨이퍼는 어떻게 PM으로 이동하고, 어떤 순서로 처리될까?’
반도체 장비를 들여다보면, 수많은 FOUP, VTM, PM들이 복잡하게 연결되어 있어요. 마치 공항의 수하물 시스템처럼 끊임없이 움직이죠. 그런데 이 모든 동선을 자동으로 조율하는 보이지 않는 존재가 있습니다. 바로 스케줄러(Scheduler)입니다.
그리고 이 스케줄러가 제대로 작동하는지 확인하는 것이 스케줄러 테스트(Scheduler Test)입니다.
스케줄러 테스트는 왜 중요한가요?
스케줄러는 장비의 심장입니다. 아무리 PM 성능이 좋아도, FOUP이 잘 준비되어 있어도 스케줄러가 효율적으로 자원을 분배하지 않으면 웨이퍼가 장비 안에서 ‘정체’됩니다.
예를 들어, 로봇이 웨이퍼를 물고 대기하거나, 한 FOUP만 반복해서 사용된다면? 자원 낭비는 물론 처리 시간도 늘어나게 되죠.
이런 문제를 사전에 방지하고, 장비의 자동 흐름이 기대한 대로 작동하는지를 검증하는 것이 바로 스케줄러 테스트입니다.
실전 예시로 이해하는 스케줄러 테스트
테스트 시나리오 예시:
- FOUP A: 증착(Deposition) 공정만
- FOUP B: 에칭(Etching) 공정만
- PM1, PM2: 두 공정 모두 가능
- VTM 로봇: 웨이퍼 이송 전담
이때 스케줄러는 다음과 같은 판단을 해야 합니다:
- 어떤 FOUP의 웨이퍼를 먼저 꺼낼지
- 어느 PM으로 먼저 보낼지
- PM 공정이 끝나자마자 다음 웨이퍼를 효율적으로 투입할 수 있을지
- FOUP 간 자원 충돌 없이 균형 있게 처리하고 있는지
테스트 포인트는?
| 체크 항목 | 설명 |
|---|---|
| 🧠 로직 오류 | PM 중복 예약, 웨이퍼 투입 실패, 무한 대기 현상 등 |
| ⏱️ 효율성 | Idle Time(대기 시간), Wait Time(웨이퍼 대기 시간), Throughput(처리량) 측정 |
| 🔁 시나리오 대응 | 다양한 조건에서 자원 충돌 없이 스케줄링이 잘 되는지 |
어떻게 테스트하나요?
- 장비 시뮬레이터 또는 실제 장비를 활용
- FOUP 개수, PM 상태, 공정 조건 등을 조합해 다양한 상황 구성
- Log, Sensor 상태, Alarm 발생 여부, Wafer Trace 분석을 통해 평가
특히 웨이퍼가 로봇에 물려 있는 채로 대기만 하는지, PM이 쉬지 않고 계속 동작하는지 등은 효율성 판단의 핵심 기준입니다.
마무리: ‘자동’의 신뢰는 철저한 테스트에서 시작됩니다
스케줄러 테스트는 단순한 기능 테스트가 아닙니다. 장비 효율성과 신뢰성을 담보하는 핵심 검증 절차죠.
아무리 좋은 공정 조건이라도, 스케줄러가 꼬이면 전 라인의 생산성이 떨어집니다. 반도체 장비의 ‘두뇌’를 검증하는 이 과정은 앞으로 더욱 정밀하고 중요해질 거예요.