📌Front Opening Unified Pod (FOUP)와 Cluster Tool Controller (CTC)는 반도체 제조 장비에 대한 가장 쉬운 설명

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🧪 Front Opening Unified Pod (FOUP)

📌 정의

FOUP는 **웨이퍼(Wafer)**를 보관하고 운반하는 데 사용되는 표준화된 캐리어입니다. 반도체 공정 중, 클린룸 환경에서 웨이퍼의 오염을 최소화하기 위해 도입된 핵심 장비입니다.

✅ 주요 특징

• 최대 25장의 웨이퍼를 수용할 수 있는 구조
• 전면(Front)이 열려 있어 자동화 장비와의 인터페이스에 최적화
• ISO 클린룸 등급을 만족시키는 완전 밀폐형 구조
• RFID 등으로 FOUP 단위 식별 가능

⚙️ 사용 목적

• 웨이퍼 간 미세한 오염까지 차단
• 자동화 로봇 및 장비와 직접 인터페이스 가능
• 물류 이동 자동화, 사람 손이 닿지 않게 설계되어 공정의 정밀도 향상

📷 활용 예시

• 웨이퍼 공정 전후 이송
• 각종 장비(노광기, 식각기 등) 간 이동
• Load Port에 장착 후 자동 개폐

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🤖 Cluster Tool Controller (CTC)

📌 정의

Cluster Tool Controller는 **복수의 공정 모듈(Process Module)**과 **이송 모듈(Transfer Module)**로 구성된 장비에서 전체 공정 흐름을 제어하는 중앙 제어 장치입니다.

✅ 주요 기능

• 공정 순서 제어: 어떤 웨이퍼가 어떤 모듈에서 어떤 순서로 공정받을지 결정
• 모듈 상태 감시: PM(Process Module), VTM(Vacuum Transfer Module)의 상태 체크 및 로직 전개
• 에러 핸들링 및 복구 로직 포함
• Scheduler 역할 수행

⚙️ 구성 요소

• Scheduler Engine: 웨이퍼를 어떤 경로로 보낼지 결정하는 두뇌
• Event Handler: 각종 이벤트(도어 열림, 진공 상태, 로봇 움직임 등) 처리
• Interface Manager: 장비 간 통신 (GEM/SECS) 및 상위 시스템 통신

📷 활용 예시

• PM1 → PM3 → PM2 순서로 공정이 필요한 웨이퍼를 최적의 경로로 이동시킴
• 공정 실패 시 자동 재처리 시나리오 실행
• 이송 로봇(Robot Arm)과의 동기화 수행

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🧩 FOUP와 CTC의 관계

역할	FOUP	CTC
기능	웨이퍼 보관 및 운반	웨이퍼 공정 순서와 장비 제어
위치	장비 외부/로더 포트	장비 내부 (Cluster 장비 내부 컨트롤러)
연관성	CTC가 FOUP 로딩/언로딩 타이밍까지 관리	FOUP 내 웨이퍼를 로딩하여 공정 시작

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✅ 마무리 요약

• FOUP는 반도체 웨이퍼를 안전하게 보관하고 이송하는 전용 용기이며,
• CTC는 장비 내부에서 웨이퍼의 공정 흐름을 총괄적으로 제어하는 두뇌 역할을 합니다.
• 이 둘은 각각 물리적 물류와 공정 제어 로직을 담당하며, 고성능 자동화 장비에서는 서로 긴밀히 연동됩니다.

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