‘전구체(Precursor, 프리커서)’ 가장 쉬운 설명
🏭 반도체 공정에서의 전구체란?
반도체는 매우 얇은 막(막 두께는 보통 nm, 나노미터 단위)을 증착(Deposition)해서 회로를 만듭니다.
이때 필요한 SiO₂(이산화규소), TiN(질화티타늄) 같은 재료를 직접 넣을 수는 없기 때문에,
그 원료가 되는 액체나 기체를 챔버에 넣어야 해요.
이 원료 물질이 바로 전구체(Precursor)입니다!
반도체 장비와 SW의 중요성 10가지
반도체 장비와 소프트웨어의 결합은 기술 혁신의 중심입니다. EUV 리소그래피부터 클라우드 연계, 보안, 스마트 제조까지, 이들의 통합은 제조 효율과 품질 향상에 핵심적입니다. 지속적인 발전을 통해 미래의 기술 발전을 주도합니다